エムエス機器半導体製造用チラーユニットは補助金の対象？

✓ 補助金の対象です受付中

工事会社で費用が変わります相見積もりで比べてから選べます。

この設備に使える地域の補助金

ほかの201件は都道府県を選ぶと出ます。

型番	導入できる主な業種	設備あたりの想定省エネ率	工場・事業場あたりの想定省エネ率	想定導入価格	製品の概要
ThermoRack1201、1801、2801、3000、5000	E.製造業	86.5 ％	― ％	6500000 円	ThermoRackはエッチング・成膜装置専用に開発された次世代チラーであり、6インチ～8インチウエハの製造ラインにおけるレガシー装置を要するアナログ半導体およびパワー半導体製造ラインの新設、更新に向けた製品として、ペルチェ素子と独自設計された熱交換プレートを組み合わせ(熱交換ユニット)により、冷凍機を使用しない構造からクリーンルーム内の設置を可能とし、ノンフロン化(GWP値0)を実現しました。また熱負荷に応じてペルチェ素子にかける電力は独自のアルゴリズムでペルチェ素子が長寿命化になる様に無段階で最適にコントロールし、アイドリング中は必要最小限の消費電力で稼働するため従来チラーと比べ

エムエス機器の半導体製造用チラーユニットは補助金の対象ですか？

はい。エムエス機器株式会社の半導体製造用チラーユニットは省エネ・非化石転換補助金（先進設備・システム）の対象です。対象の型番は1件です（2026年11月時点の公式の一覧）。一覧に無い型番は対象外です。

半導体製造用チラーユニットの補助額はいくらですか？

補助額は省エネ・非化石転換補助金（先進設備・システム）の公募要領で、区分とサイズごとに決まっています。入れ替える設備や工事の内容で変わるので、専門家に無料でお確かめください。

半導体製造用チラーユニットの補助金は誰が申請しますか？

設備を入れる会社が申請します。交付決定前の契約は対象外です。

対象になるか・いくら出るか・申請の進め方まで、専門家が無料でお答えします。