原子層堆積装置の試作開発と成膜テストサービス事業

株式会社菅製作所は北斗市にあり、創業時は漁業用船舶機器の取扱いが中心だった。昭和63年から真空技術による装置開発を進め、平成6年に商品化した。現在は真空装置関連の売上が全体の約70%を占めている。

正確に制御された方法で数ナノメートルの超薄膜を成膜できる新型ALD装置（原子層堆積装置）を試作開発した。同装置はデポアップ方式に対応し、他の成膜装置との連結が可能な構成とした。試作した装置を用いて、自社以外で作成した試料への成膜テストサービスを展開した。成膜テストサービスは当初無償で対応しながらノウハウを積み、今年から有償対応に移行する予定である。ALD装置は助成事業後も細かな改良を重ね、商品としての完成度を高めている。

新型ALD装置の開発と成膜テストサービスの展開により、原子層堆積法の研究開発市場でのシェア獲得を目指している。科学分野への普及を進め、国内シェアNo.1を目指すとしている。成膜テストサービスは今年から有償化する予定である。

科学分野への広い普及を目指し、国内シェアNo.1を目指したいとしている。