ソーラーシェアリングでの太陽電池を太陽に追尾させる装置の開発
千葉市稲毛区の会社近くの自社用地400坪を購入し、2015年4月に50kW連系を行った。
株式会社コーテック
成果従来装置と比較して占有領域が約70%
| 事業者名 | 株式会社コーテック |
|---|---|
| 所在地 | 東京都 千代田区 |
| 業種 | 金属製品製造業 |
| 技術分野 | 製造環境,表面処理 |
| 従業員数 | 21人 |
| 資本金 | 2,000万円 |
| 設立 | 1992年 |
株式会社コーテックは平成4年創業で、半導体製造装置や周辺機器・部品の販売、改造、修理、保守を中心に事業を展開している。取引先は民間の研究開発部門から製造部門まで多岐にわたる。半導体大規模市場は米国、韓国、台湾の3大メガファウンドリがほぼ独占しており、国内では半導体分野の垣根を越えた事業展開が求められていた。また、8インチ装置を製造するメーカーが市場から次々と撤退している。
抱えていた課題
やったこと
多品種少量生産向けの磁場重畳誘導放電型スパッタリングシステム(超高速小型スパッタリングシステム)を開発した。永久磁石型プラズマ源では、磁場計算を用いて永久磁石の形状を検討し、丸型形状を採用した。磁場特性維持のため高透磁率金属を材料としたフランジを開発し、プラズマ効率低減防止鉄ヨーク機能付フランジとした。ターゲット背面に磁石を取り付けてプラズマを効率よくターゲット上に捕集し、回転型多ターゲットにより同一チャンバーで3つのプロセスを可能にした。九州大学と東北大学の協力を受けて開発を進めた。
| 加工機 | 磁場重畳誘導放電型小型スパッタリングシステム |
|---|
新しい製品・サービス:多品種少量生産向けの磁場重畳誘導放電型スパッタリングシステム(超高速小型スパッタリングシステム)
従来は表面改質、下地コート、表面コートの3つのプロセスチャンバーが必要だったが、回転型多ターゲットにより同一チャンバーで3つのプロセスが可能になった。研究機関や中小企業での薄膜形成プロセスの効率化に貢献する可能性があり、半導体製造装置の一部としても応用が見込まれる。占有領域は従来比約70%、導入コストは約60%の削減率を達成し、小型・低コスト化を実現した。
いま募集している新事業進出・ものづくり補助金の公募要領にある審査の観点14つで見ています
創業以来の半導体製造装置の保守・改造実績と、8インチライン装置を守り続ける取組が一貫しており、事業との連続性はうかがえる。
占有領域約70%、装置導入コスト約60%削減など強みは示されるが、市場や顧客動向との関係の具体性は薄い。
少量多品種化という新ニーズを課題として捉え、同一チャンバーで3プロセス可能とする解決策が示されている。
高付加価値創出や賃上げにつながる目標値は記載されておらず、今後のプラズマ密度向上などの方向性のみがうかがえる。
九州大学・東北大学の協力や装置の基盤づくりに触れているが、体制や人材の具体的な配置は書かれていない。
占有領域約70%減、コスト約60%削減、少量多品種ニーズへの対応と顧客や用途が具体的に示されている。
ブラッシュアップの方向性やさらなる小型化を次の段階として述べるが、スケジュールや課題解決方法は書かれていない。
資金的に厳しい面があったことと補助事業の助けに触れるのみで、金融機関からの調達見込みは書かれていない。
少量多品種向けの小型スパッタ装置で、半導体分野を超えた展開をめざすと述べられているが、市場の認知度や普及度の具体は薄い。
研究機関や中小企業の薄膜形成効率化への貢献可能性にわずかに触れるが、経済波及や雇用創出の数値は書かれていない。
コスト削減率は示されるが、補助金投入額に対する付加価値増加や費用対効果は書かれていない。
高速成膜や小型化による技術的進展はあるが、デジタル技術の活用やサプライチェーンへの貢献は書かれていない。
少量多品種という国内のものづくりの新ニーズに応える方向性がうかがえるが、構造転換への言及は限定的。
公開されている事例からは読み取れません。
5=数字や事実つきで具体的に読み取れる、4=具体的に読み取れる、3=読み取れるが具体性が薄い、2=わずかにうかがえる、1=公開情報からは読み取れない。公開されている事例を公募要領の観点に照らして当社が整理したもので、実際の審査の点数ではありません。
性能をさらに高めながら小型化を進め、次のステップを目指す。プラズマ密度の向上とさらなる小型化をブラッシュアップのテーマとしている。
従来は基盤に金属膜を成膜する場合、表面改質、下地コート、表面コートという3つのプロセスチャンバーが必要でしたが、本装置では回転型多ターゲットにより、同一チャンバーで3つのプロセスが可能になっています
公式の事例集より(原文のまま)
千葉市稲毛区の会社近くの自社用地400坪を購入し、2015年4月に50kW連系を行った。
最新の炭酸ガスレーザー加工機を導入し、これまで外注していた試作部品を内製化できるようにした。
効果:電解水生成能力 1倍→2倍
空冷機構の構築と軽量コンパクト化により、省エネ性と耐久性を確保しつつ、従来の1kWメタルハライドランプと同等の明るさを持つ800WのLED…