次世代ウエハサイズに対応する半導体製造装置の部品生産体制の構築

ひびき精機は機械部品の複合加工で技術と品質管理体制に定評があり、半導体・液晶分野の有力な製造装置メーカーから重要部品の供給を任されている。半導体のウエハは1960年代の口径20mmから2000年代に300mmへ大型化し、450mm化が間近に迫っていた。同社は切削加工工程で大型化への対応を既に終えていた。

西部電機株式会社製の大型ワイヤ放電加工機を新たに導入した。加工ワークサイズは450mmウエハ製造装置の部品に十分対応できる大きさである。導入前に、装置に合わせた治具を既存の改善内容を加えて設計し、作業手順書も可能な限り事前に作成した。経験の浅い若手オペレーターも配置して部品製作を担当させた。

導入したワイヤ放電加工機は導入から1年余りで高い稼働率を達成し、現在は週4日夜間も連続稼働している。自動結線の信頼性が高く、ほぼ100%の結線率により夕方から朝までの連続運転が可能になった。複雑形状の部品でも歪みがなく高精度に加工でき、切削加工との併用ではなく放電加工だけの指名受注も伸びている。若手オペレーターが設計通りの部品を完成させ、人材育成にもつながった。

航空宇宙分野に参入し、厳格なマネジメントシステムによるプロセス保証で新たな発展の機会をつかもうとしている。医療・バイオ分野でも人材とプロセスの発展を基に新事業に挑戦する考えである。