南部鉄器の表面処理プロセスの強化による納期短縮化
ガラス質の釉薬を塗った急須を730度の高温で焼成し定着させる鉄器製ホーロー処理に、コンベア式連続ホーロー焼成炉を導入した。
効果：1日あたり焼成能力 400個→800個
Nis Gunを用いたプレーナプラズマによる大面積への高効率スパッタリング成膜方式の確立
株式会社ニクニ白鷹
成果ターゲット利用効率 40%→90%
この事例のポイント
- マグネトロンスパッタリング方式ではプラズマが密な部分だけターゲットが削られてエロージョンが発生し、ターゲット利用効率は40%程度にとどまっている。
- 高密度プラズマ発生装置NiS Gunを利用したプレーナスパッタ装置を試験機として製作した。
- ターゲット利用効率 40%→90%。プレーナプラズマ方式によりターゲットにエロージョンが生じず、ターゲット利用効率が向上する。
事業者のプロフィール
| 事業者名 | 株式会社ニクニ白鷹 |
|---|---|
| 所在地 | 山形県 西置賜郡白鷹町 |
| 技術分野 | 溶射・蒸着 |
| 従業員数 | 100人 |
| 資本金 | 4,000万円 |
| 設立 | 1969年 |
事業の背景
ニクニ白鷹は精機部門の事業を行い、創業以来、最先端精密機械製造の知識やノウハウを培ってきた。その技術を背景に5年前から独自の成膜装置開発を始め、高密度プラズマ発生装置NiS Gunを開発した。主流のマグネトロンスパッタリング方式ではターゲット利用効率が40%程度にとどまるという問題がある。
課題と取り組み
抱えていた課題
- 生産能力マグネトロンスパッタリング方式ではプラズマが密な部分だけターゲットが削られてエロージョンが発生し、ターゲット利用効率は40%程度にとどまっている。
やったこと
高密度プラズマ発生装置NiS Gunを利用したプレーナスパッタ装置を試験機として製作した。ターゲット上に磁石を設置しない方式で、平面状のプラズマを均等に形成して成膜することに成功した。ITOとAl2O3のターゲットで利用率を90%以上に改善することにも成功した。
- その他プレーナスパッタ装置試験機NiS Gun高密度プラズマ発生装置
新しい製品・サービス：NiS Gunを利用したプレーナプラズマスパッタリング方式の生産装置
事業の効果
- ターゲット利用効率 40%→90%
プレーナプラズマ方式によりターゲットにエロージョンが生じず、ターゲット利用効率が向上する。試験機でITOとAl2O3のターゲットの利用率を90%以上に改善することに成功した。平面状プラズマにより大面積への成膜も可能になり、NiS Gunのプラズマ密度の高さから緻密な膜を高速で成膜できる可能性もある。
今後の展望
金属や酸化物など様々な材料に対応したプレーナプラズマスパッタリング方式の生産装置を開発していく。
業種と困りごとが近い成果事例
クックフリーズ方式による長期保存冷凍和惣菜の開発並びに直販体制の構築
加熱された商品を凍結冷凍庫に入れ、約30分で凍結を開始し、90分で商品の中心温度を−5℃以下まで下げ、その後−18℃まで急速凍結するクック…
効果：賞味期限を1年間の長期間に設定できる
しょうゆ多品種少量生産体制の構築
多品種少量生産に対応した設備にすることで、原価低減と品質向上を両立させる体制を構築した。
効果：歩留まり 70%→85%
出典とまとめ方
- 出典：公式の事例集（平成24年度、全国中小企業団体中央会）。事例集の再利用は中央会の許可を得ています。
- 課題・取り組み・設備・効果・展望は、事例集の本文から当社がAIで項目に分けて短くまとめたものです（画像のPDFを文字起こししてから読み取りました）。数字は事例集に書かれているものだけを載せ、時間の単位などをそろえています。原文のまま載せているのは事業者の声だけです。
- 代表者名・電話番号・番地は載せていません。法人の形が名前にない事業者は名前を出していません。