次世代ウエハ450mm対応クリーンロボット移載装置の開発
直径450mm次世代シリコンウエハを対象に、位置決め技術の高度化等を駆使したクリーンロボット移載装置を試作開発した。
効果:ロボットの外形寸法は従来比0.3割増しに収めた
有限会社高度技術研究所
| 事業者名 | 有限会社高度技術研究所 |
|---|---|
| 所在地 | 茨城県 ひたちなか市 |
| 業種 | 学術・開発研究機関 |
| 技術分野 | 組込みソフトウェア |
| 従業員数 | 3人 |
| 資本金 | 300万円 |
ホログラム自動作製器の特許維持・管理と技術開発を目的に会社を設立し、除振台・暗室不要のホログラム自動作成装置や業界初の光透過型電子基板自動検査装置を開発してきた。現在は主にレーザーを応用した画像計測の研究、製品開発・販売を行っている。高齢化により、がんの予防診断や血液検査のニーズが増大しており、世界的に血球診断器やiPS細胞等の迅速広視野検査のニーズも高まっている。
抱えていた課題
やったこと
広視野レーザー位相差顕微鏡の試作のため顕微鏡本体一式を購入し、光学系を組み合わせた。光学系を構成するレンズの性能が機器全体の性能を左右するため、種々のレンズの性能を結像シミュレーションと試行実験で検討して光学系構成レンズを選定した。同様に光源とカメラを選定し、試作機を作製した。多重マッチトフィルタ作成用に、ホログラム作成装置の現像ボックスを薄型にして光路中に挿入できるよう改良開発を行った。多重マッチトフィルタを広視野レーザー位相差顕微鏡光学系に組み込み、試行実験を行った。
新しい製品・サービス:広視野レーザー位相差顕微鏡(基盤技術製品)および、その応用製品としての血球検査機
従来法にない広視野・非染色観察を可能とする高機能な生体細胞検査機の試作機が開発された。生体細胞を染色する必要がなく、非侵襲で細胞を損壊せずに動きも広視野で同時に観察できることが試行実験で明らかになった。一方で分解能のさらなる向上が課題として残っており、細胞の照射方式と位相差フィルタの形状の変更で解決を図る考えである。病理検査、創薬、再生医療分野での市場ニーズがあり、まず基盤技術製品を製品化し、次に血球検査機を世に出す計画である。
まず iPS 細胞検査などに使われる基盤技術製品として広視野レーザー位相差顕微鏡を製品化し、次にその応用製品としての血球検査機などを世に出していきたいと考えている。
いいものを作って、多くの人に使ってもらいたい。ぞそれが世の中の役に立ち、従業員含め旨が幸せになればうれしいですね
公式の事例集より(原文のまま)
直径450mm次世代シリコンウエハを対象に、位置決め技術の高度化等を駆使したクリーンロボット移載装置を試作開発した。
効果:ロボットの外形寸法は従来比0.3割増しに収めた
狭スリット部の加工精度を高めるため、デジタルマイクロスコープを導入し、同部の目視による計測と観察を行った。
水溶性の塗料に電気を流して金属の代わりに塗料を付ける、めっきと同じ原理の電着塗装を導入した。