ショットキーFE電子銃電源のコストダウン開発

昭和53年設立の有限会社福田設計を前身とし、平成元年に株式会社福田設計へ組織変更、平成18年に現社名へ変更した。自社開発の高性能高圧電源の販売を機に、試作開発力を強みとしてEMS事業と電子ビーム・イオンビーム用高圧電源の開発に挑戦している。金属3Dプリンタの国家プロジェクトに電子ビーム用電源の試作機を納入した実績もある。近年は半導体検査装置としての特殊なショットキーFE走査電子顕微鏡のニーズが高まり、国内外からの引合件数が急増している。

電子顕微鏡で電子銃を駆動する電子銃電源を、従来品より価格競争力の高い商品として試作開発した。具体的には、絶縁トランスの設計変更、制御用光ファイバーの削減、電圧制御方式の変更を行った。さらに、ハイブリッド空気絶縁方式を採用し、シャーシ（枠組み・フレームワーク）のコストダウン設計を行った。従来のオイル絶縁方式に代えてドライエア方式を用い、オイルミストや微細な埃による微少放電の問題を解決した。

従来品よりも価格競争力の高いショットキーFE電子銃電源を試作開発した。絶縁方式をドライエア方式にしたことで、オイルミストや微少放電によるクリーンルームでの使用支障を解消した。今後は半導体検査装置や金属3Dプリンタ、航空宇宙、再生医療などのマーケットでの活用が期待される。

近年、半導体検査装置としての特殊なショットキーFE走査電子顕微鏡のニーズが高く、国内外からの引合件数が急増している。高融点金属の造形を行う金属用3Dプリンタ等でも応用でき、今後は航空宇宙、再生医療等のマーケットでの活用が期待されている。