装飾用アルミ製品への多様なニーズに対応する表面処理加工技術の高度化
半自動アルマイトラインを稼働させ、純粋装置と超音波装置を取り付けて量産使用の目途を立てた。
株式会社メムス・コア
成果接合温度 350度→150度
| 事業者名 | 株式会社メムス・コア |
|---|---|
| 所在地 | 宮城県 仙台市 |
| 業種 | 電子部品・デバイス・電子回路製造業 |
| 技術分野 | 精密加工 |
株式会社メムス・コアは東北大学の江刺正喜教授と半導体装置製造会社の協力によって設立され、MEMSの設計・開発、試作及び製造、製造技術開発、開発受託サービスを行っている。MEMSは医療や電子機器、自動車など多彩な分野から注目を集めるデバイスである。国内でMEMS開発受託に注力する企業は希で、同社は機密保全の観点からあえて自社製品を保有していない。
抱えていた課題
やったこと
産業用貴金属製品製造会社が開発した微細金粒子を用いた低温接合プロセス技術の移管を受けた。ガラスウェハー上にサブミクロン金粒子を封じ枠や電極などの微細パターンとして形成し、パターン転写基盤として利用する。転写プロセスではウェハー同士を貼り合わせてデバイスを製造する。微細パターン形成に加えて無塵環境が求められるため、半導体用顕微鏡のほか、クリーンブース用フィルタユニット等を導入した。
| 検査測定 | 半導体用顕微鏡 |
|---|---|
| その他 | クリーンブース用フィルタユニット |
新しい製品・サービス:MEMSの低温接合技術を用いた、CMOS LSIとの融合および3次元実装サービス
低温MEMS接合により、従来の成膜プロセスによるパターン形成と比べて材料ロスが少なくなる。電気的接続と気密封じを一度に行えるため、実装コストの低下につながるメリットがある。得られた成果を新たな事業の柱に成長させ、CMOS LSIとの融合と3次元実装ビジネスの展開を目指している。
いま募集している新事業進出・ものづくり補助金の公募要領にある審査の観点14つで見ています
東北大学の江刺教授と半導体装置会社の協力で設立され、産業用貴金属製品メーカーから低温接合技術の移管を受けた経緯が具体的に書かれている。
機密保全の観点から自社製品を持たず開発受託に注力しており、国内でMEMS開発受託に注力する企業は希少とされる点が強みとして示されている。
従来の接合材料は350〜500度で使えなくなる可能性があるという課題を示し、150度程度で行える低温接合で解決を図る方針が明確。
付加価値額や賃上げにつながる数値目標は示されておらず、実現可能性を判断できる記述はわずかにとどまる。
大学や装置会社との協力体制は示されているが、人材数や事務処理体制など遂行体制の具体的な記述はほぼない。
150度の低温接合で材料ロスが少なく、電気接続と気密封じを一度に行える点、LSIや電子機器向け3次元実装という対象が整理されている。
ウェハー貼り合わせによる転写プロセスや無塵環境の必要性は書かれているが、スケジュールや課題の解決方法の詳細は示されていない。
公開されている事例からは読み取れません。
MEMSは多彩な分野で注目される分野とされるが、3次元実装や低温接合の市場の希少性や高価格化の根拠は具体的に示されていない。
医療・電子機器・自動車など多分野に波及する点や、LSIの微細化への貢献が述べられているが、経済波及や雇用創出の数値は示されていない。
実装コストの削減に結び付くメリットは述べられているが、補助金投入額に対する効果を示す数値は書かれていない。
新たな低温MEMS接合と3次元実装ビジネスにより、LSIとの融合や電子機器の微細化に貢献し得る先端技術であることが示されている。
次世代の3次元構造や異種材料接合のデバイスへの対応が述べられ、新デバイス分野への進出が読み取れるが、構造転換への言及は限定的。
仙台市泉区で事業を展開していることは書かれているが、地域の特性を活かして雇用や地域成長を牽引する記述はわずかにうかがえる程度。
5=数字や事実つきで具体的に読み取れる、4=具体的に読み取れる、3=読み取れるが具体性が薄い、2=わずかにうかがえる、1=公開情報からは読み取れない。公開されている事例を公募要領の観点に照らして当社が整理したもので、実際の審査の点数ではありません。
低温MEMS接合は150度程度の温度環境下で行われます。従来の成膜プロセスによるパターン形成と比べて材料ロスが少なく、電気的接続と気密封じを一度に行うことができ、実装コストの低下にも結び付くというメリットがあります。
公式の事例集より(原文のまま)
半自動アルマイトラインを稼働させ、純粋装置と超音波装置を取り付けて量産使用の目途を立てた。
日本国内での販売普及を目指す低コスト超小型電気自動車の試作開発に取り組んだ。
効果:ホイールベース100mmの延長に対し、最小旋回半径は0.45m短縮
青森県産の農水産物を加工した「八戸前沖サバ煎餅」と「青森どら焼き」を試作開発した。