半導体／ディスプレイ製造装置用スリットノズルの性能・生産性向上

本山合金製作所は金型部品などの精密加工と工業用ノズルの生産を2本柱とする。売り上げの85%が岡山県以外の顧客向けである。液晶製造装置の乾燥工程で使われるスリットノズルは世界シェアが5割以上で、約15年前から生産を始めた主力製品に育っている。テレビの大画面化に伴いノズルも長くなり、現在は最大4メートル超の製品も生産している。

第5工場を本社の向かいに建設し、2017年5月に稼働させた。別工場にあったスリットノズルの生産設備を第5工場に移し、金属加工機械を1台新たに導入して生産能力を増強した。難削材であるハステロイの専用加工条件を追求し、半導体製造装置向けスリットノズルの需要に対応した。ノズルの金属加工、性能評価、流体解析などの技術を組み合わせ、幅500ミクロンの溝から出る空気の圧力のばらつきを10%以下から5%以下に低減した。

第5工場の稼働と金属加工機械の導入により、スリットノズルの生産能力が増強された。ハステロイの加工条件を確立し、半導体製造装置向けの需要に応えられるようになった。空気圧力のばらつきを10%以下から5%以下に低減し、品質が向上した。

スリットノズルでは半導体製造装置向けのシェア拡大を目指す。舶用向け工業用ノズルの開発も他社と共同で進めている。