工業用樹脂製真空脱泡チャンパーの企画開発

当社の主力事業は半導体・液晶製造装置の製造である。最終ユーザーが海外メーカーで、半導体業界の変化が激しく、製造装置のリードタイム短縮の要求が強まっている。製造装置に含まれる真空機器は外注しており、真空脱泡チャンバーの調達に時間を要していた。

従来アクリル製が主流の真空脱泡チャンバーに対し、アクリルより安く、すでに他事業で多く使用しているため低コストで仕入れられる硬質塩化ビニール（塩ビ）でチャンバーを企画、設計、製作した。チャンバー内部の空気を遮断するため、蓋部分にアリ溝を設けゴムパッキンを入れる構成とし、アリ溝の精度を確保するために高精度のNCルーターを導入してアリ溝を加工した。第一次試作では販売中のアクリル製大型チャンバーと同サイズの塩ビ製チャンバーを設計し、真空度テストを行ったが、規定の真空度に達するまで10分以上を要し、材料使用量が想定以上に多く重量がかなり重くなった。さらに長方形形状は溶接箇所から破損するリスクがあった。第二次試作では円筒状仕様に設計を変更し、大型の前に小型で製作して検討した後、第三次として塩ビ製大型チャンバーの試作品を完成させた。

塩ビ製大型円形真空脱泡チャンバーの開発が完了した。今後は半導体用真空機器部品の新製品の受注に活用し、自社ブランド製品として販売する計画である。既成のアクリル製チャンバーより低コストであることをホームページ上で簡単に確認できる見積りシステムも検討している。

今後は大きさや使いやすさを追求して細部を改良し、半導体用真空機器部品の新製品受注と自社ブランドでの販売に向けて計画を進める。ユーザーの不便に応え、用途に応じてカスタマイズするなどメーカーとして確立することをめざす。